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- 臭氧和水ALD工藝中DMACl基Al2O3膜主體中元素濃度的比較
臭氧和水ALD工藝中DMACl基Al2O3膜主體中元素濃度的比較 DMACl-臭氧作為ALD過程 在ALD工藝中，每周期生長量(GPC)是描述薄膜生長的重要參數(shù)。如果GPC在ALD生長潛伏期后達(dá)到恒定值，則表明生 . . .
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